Membrane/Filter BUSINESS

Filter Biz

소재에서 시스템까지!
분리막 기술을 적용한 멤브레인 수처리

필터는 액체 또는 기체로부터 오염입자를 제거하는 다공성의 여과매체로 시노펙스는 Micro-Filtration 관련 필터를 수직계열화 하여 Filtration SYSTEM에 관련된 종합적인 Solution을 제공하고 있습니다.

반도체, LCD 생산라인용 고유량, 고성능 필터를 비롯하여 각종 수처리용 필터를 개발, 국내외에 공급하고 있으며, 신성장동력산업을 이끄는 고도 물처리 산업의 핵심 기술력을 확보하고 수입의존도가 높은 고성능필터 제품의 국산화에 앞장서고 있습니다. 나노기술을 적용한 고성능필터를 개발 및 공급하고 있는 시노펙스는 국내외 주요 반도체 및 LCD 생산라인용 수처리필터를 개발하여 공급하고 있습니다.

Chemical Filter

설명

시노펙스가 국내 최초로 개발 및 양산에 성공한 Chemical Filter(SynoKleer®)는 반도체 주요 화학 공정에서 사용되고 있으며, 고온·강산·강염기 환경에서도 안정적으로 운영 가능한 불소수지계(All-Fluoropolymer) 소재의 필터입니다.
시노펙스만의 독자적 나노멤브레인 제조 기술과 표면처리 기술이 적용되어, 반도체 케미컬 공정 중 발생할 수 있는 미세 입자를 효과적으로 제거하여 공정 효율 및 수율 향상에 기여합니다.

또한 SynoKleer®는 고순도 케미컬 사용 공정에서 요구되는 엄격한 청정도 기준을 충족할 수 있도록 고도의 고순도 필터 세정(Purification & Cleaning) 기술이 적용된 제품입니다.

주요특징

기공 구조로 웨이퍼 결함을 최소화
고온·고부식성 화학물질(Aggressive, High-Temperature Chemicals)에 최적화
강산·강염기·세정 공정에서도 수율 향상
100% 완전성검사(100% Integrity Tested)
초저 추출물(Low Extractables) 세정기술 적용

적용분야

반도체 제조용 고순도 화학물질 여과
Wet Etch / Wet Clean 공정
전체 케미컬 공급 시스템 등

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